南宫NG28

职能特点

耐高温机能

PEEK吸盘可在260℃甚至300℃的高温环境下持久使用，维持高强度低线胀系数和不变的物理机能，合用于半导体造作的高温工艺环节
。

防静电；

选取改性PEEK资料，表表电阻率不变在106-1092，有效预防静电放电
。对晶圆等敏感元件的危险，保险出产安全性
。

纯度高无传染

资料不含卤族元素，纯度高且释气性低，夹持过程中不会产生颗；蚧Р辛，确保晶圆表表的干净度和齐全性
。

耐磨性与尺寸不变性

优异的耐滑动磨损和微动磨损机能，结合低吸湿性，可持久维持吸盘状态精度，预防晶圆划痕或移位
。

耐化学侵蚀性

能抵抗半导体蚀刻、洗濯等工艺中的强酸、强碱及等离子体侵蚀，耽搁吸盘使用寿命
。

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