专业加工用于恶劣环境、复杂工况下的高机能聚合物零件
耐高温机能
PEEK陆续使用温度可达260°C,短期耐受温度超过300℃。在高温下仍能维持不变的机械机能,预防因热变形影响操作
耐化学侵蚀性
耐受半导体工艺中常见酸碱、溶剂等侵蚀性物质,耽搁工具使用寿命降低守护成。在CMP等严苛环节中,相比PPS等资料寿命更长。
纯度高与干净度
无卤素增长,预防传染半导体晶圆等高敏感资料。低释气性和低吸湿性,削减粉尘与气体开释,满足干净度的要求。
防静电与导电性
选取改性PEEK资料,表表电阻率不变在106-109Ω,有效预防静电放电,对晶圆造成粉碎。
矫捷的使用方式
PEEK晶片夹不仅用于晶圆夹持,还可延长至真空吸笔、支持线、选镀环等半导体工具,满足搬运、存储、测试等全流程需要。