南宫NG28

职能特点

耐凹凸温性?

可在 ?-260°C 至 +260°C? 的宽温度领域内持久不变工作，合用于半导体工艺中的高温或低温环境
。

?耐化学侵蚀性?

险些不受强酸（如王水、氢氟酸、浓硫酸）、强碱、有机溶剂等侵蚀，适合在干净室或化学洗濯环境中使用
。

?低摩擦系数?

PTFE拥有固体资猜中最低的摩擦系数之一（约 ?0.04–0.05?），可削减对晶圆表表的划伤或传染
。

?不粘性与表表惰性?

表表张力极低，不易吸附颗；虿辛粑，有助于维持晶圆干净
。

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